事業内容
事業内容
(1)フッ素樹脂中空糸膜を用いた機器の設計および製作
(2)半導体製造に係る装置の設計および製作
(3)原子力施設の放射性物質処理に係るシステムの構築、装置の設計および製作
・脱気装置部門
リソグラフィ用現像液脱気器
リソグラフィ用レジスト液脱気器
リソグラフィ用リンス液脱気器
液中パーティクルカウンタープロセス用脱気器
微細インク用脱気器
気液混合ミキシングモジュール
等
・半導体装置部門
薬液温調装置，超純水加熱装置
薬液フィルターユニット，苛性ソーダ再生装置
３００ｍｍシリコンウエハー両面研磨機，スラリー供給装置
スラリー温調供給システム
脈動防止用パルセーションダンパー
等
・原子力部門
原子力発電プラントの機器・配管の除染装置（化学除染、機械除染、電解除染）
除染装置に係る樹脂塔及び遮蔽容器
放射性廃液の処理装置
等
・ＳＭ熱交換器部門
多管式フッ素樹脂熱交換器
・ＳＭ Ｔｕｂｅ成型部門
脱気用フッ素樹脂エレメント成型
パルセーションダンパー用エレメント成型
・工事部門
樹 脂 ＰＦＡ，ＰＶＤＦ，ＰＰ，ＰＶＣ，ＦＲＰ 等
金 属 ステンレス，鉄，チタン，鉛 等